半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

フロア上では、フォトレジストの加熱処理が安定しているかどうかは、最後に行われた熱処理の影響を受けます。ウェーハはトロリーの上に置かれており、温度が少しでも変動すると、フォトレジストの寸法に誤差が生じる可能性があります。そうなると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除する...