MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。 多くの人々...

破片の発生を防ぐ：ラムプが故障したときにもウェーハを守る方法 高負荷の製造環境では、ラムプが壊れることは単なる迷惑なだけではありません。それはまさに悪夢です。 石英製のカバーが割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハに降りかかります。そうなると、そのロットは廃棄処分になってしまいます。そして、ライ...

はじめに このウェーハ乾燥ランプは、 packagingやテストラインがフル稼働しているときでも信頼できる道具として作られました。これは、単なる一般的なヒーターではありません。これは生産ライン用の装置であり、安定した高密度の熱を供給し、ウェーハを迅速に乾燥させることができます。また、停止時間も最小...

フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際には、温度の変動を許容するわけにはいきません。一か所でも高温になれば、触媒層がずれてしまいます。逆に低温になれば、現像後に汚れが発生してしまいます。だからこそ、燃料電池用の触媒乾燥ランプは、ウェーハの乾燥、リソグラフィー工程、パッケージング工程、クリー...

製造現場では、小さなトラブルが大きな損失につながる。洗浄後にかすかなウォーターマークが残る、ベークプロファイルが平坦でない──これらの問題が１件でも起きれば、ソーラーセルウェーハの一ロット全体が不良となる場合がある。従来の乾燥用ランプはドリフトしやすく、そのドリフトが熱的勾配を生む。その結果、変形...