MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法
MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。
多くの人々は通常の対流式ヒーターを使っていますが、問題があります。それは、装置の内壁が過度に加熱されてしまうことです。これはエネルギーの無駄遣いであり、実際、その装置の中に手を入れる人にとっては安全上のリスクもあります。
私たちは、より良い方法を見つけました。それが指向性赤外線ヒーターです。
実際の動作原理
抵抗式ヒーターは、部品の周囲の空気を温めようとします。しかし、赤外線ヒーターは異なります。電磁波を直線的に照射します。私たちはそのヒーターを直接ウェーハに向けます。そうすると、エネルギーがウェーハや液体残留物に当たり、瞬時に蒸発します。熱が特定の場所に集中するため、装置の壁は冷たいままです。部屋全体を温める必要はなく、必要な部分だけを温めることができます。
注意点
ただし、「プラグインして使えば済む」というわけではありません。MEMSに適した熱密度を得るためには、短波長の石英ランプを使用します。これにより迅速に温度が上昇し、生産ラインの効率が向上します。
しかし、距離の調整には注意が必要です。距離が近すぎると、センサーが壊れてしまいます。逆に遠すぎると、乾燥に時間がかかります。適切な距離を見極める必要があります。
作業の効率化
最も良い点は、対流式システムで必要とされる巨大で重い断熱材を使わなくて済むことです。つまり、工具の占有スペースが大幅に削減されます。
また、装置を起動した後の長い待ち時間も解消されます。オペレーターは、高温の装置に触れる心配なく、すぐに中に入ることができます。
一つアドバイス：電源がランプのピーク出力に対応できるか確認してください。そうでなければ、光がちらついたり、フィラメントが早く壊れたりする可能性があります。