石英ボート用加熱ランプ工場

製造現場では、フォトレジストの処理においてはわずかな誤差も許されません。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、粒子の存在によっては、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような変動を防ぐために、石英製の加熱ランプを設計...