中国のウェーハ乾燥機メーカー

ファブ内では、ご存知の通り、焼成温度が0.1℃でも変動するだけで、フォトレジストの品質が悪化してしまいます。だからこそ、熱管理や再現性、粒子制御が製品の品質を左右するような状況において、このウェーハ乾燥装置を導入したのです。 技術的に重要な点 150mmおよび200mmサイズのウェーハにおいて...