なぜ無鉛半導体の製造に赤外線を採用するのか 業界では、無鉛化やゼロ排出といった基準が強く求められています。それは素晴らしいことですが、実際の製造プロセスを複雑にしてしまいます。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを使用してきました。ただし、この方法では空気だけが加熱されるだけです。処理速度が遅く...

ファブ内では、ご存知の通り、焼成温度が0.1℃でも変動するだけで、フォトレジストの品質が悪化してしまいます。だからこそ、熱管理や再現性、粒子制御が製品の品質を左右するような状況において、このウェーハ乾燥装置を導入したのです。 技術的に重要な点 150mmおよび200mmサイズのウェーハにおいて...