ソーラーセルウェーハ乾燥ランプ

製造現場では、小さなトラブルが大きな損失につながる。洗浄後にかすかなウォーターマークが残る、ベークプロファイルが平坦でない──これらの問題が１件でも起きれば、ソーラーセルウェーハの一ロット全体が不良となる場合がある。従来の乾燥用ランプはドリフトしやすく、そのドリフトが熱的勾配を生む。その結果、変形...