真空対応の赤外線ヒーター

ウェーハが十分に加熱されるのを待つのはやめましょう。 半導体の精密加工に携わったことがある人なら、強制対流式の加熱方式の非効率さをよく知っているでしょう。加熱に時間がかかりすぎます。結局、ただ座って、空気が暖まるのを待ち、その熱がウェーハに伝わるのを待つだけです。これは大きなボトルネックです。 し...