高速熱処理 RTP ランプ

ファブフロアでは、300mmウエハーが熱的特性を調整されるのを待っています。ソフトベークまたはハードベークプロファイルに一つの問題があれば、フォトレジストのライン幅がずれ始めます。ウエハーがエッチングチャンバーに入る前に、歩留まりを失っています。私たちは、そのずれを発生する場所で止めるために、急速...