ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱するのはやめましょう。 ほとんどの赤外線ヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度から熱が放散されるわけです。半導体製造装置の限られたスペースでは、これは大きな問題です。装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してしまい、間も...

なぜ、CNTの製造において熱風ではなく赤外線を使うのか？ もし、カーボンナノチューブの製造に携わったことがあるなら、その手間の多さはよくわかるでしょう。触媒が適切に機能し、炭素が正しく沈着するためには、温度を正確にコントロールする必要があります。 従来の方式では、熱風が使われています。これは非常に...