ウェーハ加熱の安全距離
化学ウェーハを加熱する際の安全対策
正直言って、赤外線ランプを化学洗浄液の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。実際、揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や表面が閃点以上に熱くなっただけで、大きな問題が起こり得ます。
だからこそ、単にランプを設置して運を天に任せるわけにはいきません。私...
交換用ヒーター要素 IP65
IP65等級のリード線の密封についての真実
工場での秘密を少しお教えします。実際、インフラーレッド要素が破損する主な原因は、フィラメントが焼け切れることではありません。通常は、リード線の密封部分が先に壊れてしまうのです。
IP65の環境下では、単に水がかかるだけを心配しているわけにはいきません。熱...
防水ヒーティングテーブル IP44
なぜ、私たちはIP44等級のヒーターに厳しい試験を施すのか? バスルームというのは、電子機器にとってまさに地獄のような場所です。濃密な蒸気があり、水しぶきも飛び交い、温度も数分で氷点下から沸騰点まで変動します。もしシール部分が少しでも緩んだり、配線がもろくなったりすると、装置全体がショートしてしま...
省エネ型半導体ヒーター
半製品の炭素排出量を削減するために:なぜ赤外線が最適なのか
正直に言って、従来の抵抗加熱式のオーブンはエネルギーを無駄に消費するものです。ウェーハが何の影響も受ける前に、チャンバー内の空気を温めるだけで大量の電力が消費されてしまいます。これは非効率的であり、私たちが炭素排出量を削減しようとする今の...
急速加熱ヒーター
夜になって寒くなったとき、ただ立ち尽くして待っているのは嫌でしょう。スイッチを入れれば、すぐに暖かさが得られることを期待します。パティオでも、作業場でも、風の通りやすい窓のそばでも同様です。暖房機が時間がかかると、快適さが妨げられてしまいます。私たちは、そのような待ち時間をなくすために赤外線ヒータ...
石英ボート用加熱ランプ工場
製造現場では、フォトレジストの処理においてはわずかな誤差も許されません。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、粒子の存在によっては、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような変動を防ぐために、石英製の加熱ランプを設計...