工場内での炭素削減：なぜ赤外線ヒーターが最適か
正直言って、クリーンルーム内で物を加熱するのは大変です。高い精度が求められますが、同時に空気の質を悪化させてはいけません。多くの人々は従来の対流式オーブンを使いますが、それはまるで家全体の暖房をつけて、たった一枚のピザだけを温めようとするようなものです。これは無駄遣いです。
だからこそ、私たちは赤外線ヒーターを採用しています。このヒーターは空気を温めるのではなく、直接ワークピースを加熱します。これにより、より清潔で、より迅速に、そしてより効率的に加熱が行えます。
パワーの面
私たちは、狭いスペースに大量のパワーを凝縮できるようにこのヒーターを設計しています。放射熱が集中するため、目標温度に到達するのがずっと早くなります。これにより、ウェーハ1枚あたりの電力消費量が削減されます。また、巨大なオーブンが温まるのを待つ必要もありません。
しかし、注意点もあります。単純にパワーを上げればいいわけではありません。電圧が不安定だと、フィラメントが損傷してしまいます。信頼性の高い電源が必要で、そうでなければ頻繁に電球を交換しなければなりません。
清潔さの維持
クリーンルームでは、ほんの少しのほこりでも大問題です。何かが剥がれ落ちたり、空気中に何かが放出されたりしてはいけません。そのため、ヒーターには高純度の石英製のケースを使用し、全体をステンレス製のベンチに収めています。錆や塗装の剥がれなどがない、清潔で無菌的な環境が実現されます。そうすれば、シリコンに集中して作業できます。
実際のデメリット
赤外線ヒーターを使うことは、「グリーンファクトリー」の目標を達成するための良い方法です。エネルギーの無駄遣いがなくなり、エネルギーが正しく部品に使われます。しかし、それは魔法ではありません。注意すべき点がいくつかあります。
赤外線ヒーターも永遠に使えるわけではありません。時間が経つにつれて、発熱量が変わってしまい、均一な加熱が難しくなります。ヒーターの使用時間を把握していなければ、電球が壊れていることに気づく前に、生産効率が低下してしまうかもしれません。
また、ひとつアドバイスです：しっかりとした遮蔽装置を用意しましょう。そうでないと、放射熱がセンサーや配線を傷めてしまい、面倒な問題が発生します。