Mengapa Kita Beralih Ke Penggunaan Lampu Inframerah untuk Proses Pencucian Tanpa Plumbum
Dunia semikonduktor sedang berusaha keras untuk mencapai standard “hijau” dan bebas plumbum. Hal ini dapat dilihat jelas pada tahap pengeringan semasa proses pencucian.
Selama ini, kita bergantung pada ketuhar konveksi untuk memanaskan bahan-bahan yang akan dikeringkan. Namun, sejujurnya, memanaskan ruangan besar hanya untuk mengeringkan beberapa keping wafer merupakan pembaziran tenaga. Itulah sebabnya kita beralih kepada penggunaan lampu inframerah. Lampu ini memanaskan permukaan wafer secara langsung, tanpa perlu memanaskan udara di sekelilingnya. Dengan cara ini, tidak perlu lagi menggunakan unit pengurusan udara yang besar, sehingga mengurangkan kesan negatif terhadap bilangan karbon yang dihasilkan.
Bagaimana Proses Pengeringan Berfungsi
Ketika proses pencucian sedang berlangsung, terdapat banyak kelembapan dan sisa kimia yang perlu dibersihkan. Untuk menangani masalah ini, kita menggunakan lampu inframerah yang tahan air. Jika kita menggunakan lampu biasa, kelembapan akan menyebabkan litar elektrik menjadi rosak atau filamen lampu cepat teroksidasi. Ini merupakan cara yang cepat untuk merosakkan peralatan tersebut.
Kekuatan sebenar lampu inframerah terletak pada tenaga radiasi yang dihasilkannya. Foton-foton tersebut menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer, sehingga molekul air bergetar dan mudah menguap. Proses ini berlaku dengan sangat cepat. Kebanyakan sistem ini dapat mencapai suhu yang sesuai dalam masa beberapa saat sahaja. Ini sangat penting, kerana ia dapat mengelakkan pembentukan bintik-bintik air atau kotoran yang boleh merosakkan kualiti cip tersebut.
Menghadapi Keadaan Basah
Tubuh kuarsa biasa tidak mampu bertahan dalam keadaan basah. Oleh itu, kita perlu menyegel elektrod dan menggunakan lapisan khas untuk memastikan litar elektrik tetap kering. Kita juga menggunakan lampu berintensiti tinggi untuk memastikan haba hanya sampai ke permukaan wafer sahaja.
Kompromi yang Perlu Diterima (Kerana Tiada Yang Sempurna)
Lampu inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia mempunyai beberapa kelemahan. Lampu ini menghasilkan haba yang intensif di satu kawasan tertentu. Jika kelajuan konveyor tidak tepat, atau kuasa lampu terlalu tinggi, ia boleh menyebabkan wafer terlalu panas atau fotorezist rosak. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat antara kelajuan konveyor dan kuasa lampu untuk mengelakkan masalah haba yang berlebihan.
Selain itu, kita juga perlu mempertimbangkan haba yang dipantulkan oleh dinding bilik tersebut. Kita memerlukan sistem penyejukan yang efektif untuk mengatasi masalah ini,否则 peralatan kita akan rosak akibat haba yang berlebihan.