Lampu pembakaran photoresist
Di fasiliti litografi, kita akan mempelajari dengan cepat bahawa perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja pun boleh menyebabkan kawalan dimensi...
Pemanas pembakar e beam resist
Pada tingkat litografi, proses bakar resist E-beam bukan sekadar pemanasan awal. Ia adalah peristiwa terma yang menetapkan kawalan dimensi kritikal....