Di fasiliti litografi, kita akan mempelajari dengan cepat bahawa perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja pun boleh menyebabkan kawalan dimensi yang tepat menjadi tidak terkawal. Lampu yang digunakan untuk proses pemanasan ini bukan sekadar alat pemanas semata-mata; ia merupakan alat yang membantu mengekalkan ketepatan proses pengeluaran semikonduktor. Kami mencipta lampu ini untuk memenuhi keperluan ketepatan yang sangat tinggi dalam pengeluaran semikonduktor, di mana setiap wafer perlu mengalami proses pemanasan yang sama setiap kali.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kita perlu mencapai keseragaman suhu pada tahap wafer sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan yang dipanaskan. Ini dicapai menggunakan gelombang inframerah pendek bersama pemancar jenis kuarsa-halogen yang mampu memberikan respons yang cepat dan konsisten. Keseragaman suhu antara setiap kali proses berlaku kekal dalam lingkungan ±0.2°C, supaya profil pemanasan tetap stabil. Sistem ini berfungsi dengan baik dalam persekitaran kelas 1–100, tanpa menghasilkan sebarang zarah yang boleh menyebabkan kecacatan pada wafer. Penggunaan tenaga juga dikawal dengan teliti, dan pemancar tersebut dapat bertahan lebih dari 5,000 jam.
Mengapa ia berkesan dalam proses pengeluaran
Proses pemanasan perlu disesuaikan agar sesuai dengan sifat bahan yang digunakan, bukan sebaliknya. Keseragaman suhu yang tinggi dapat mengurangkan variasi ketebalan permukaan wafer, sekaligus membantu meningkatkan ketepatan dimensi wafer. Reka bentuk yang sesuai untuk bilik bersih serta sistem optik yang berkualiti tinggi dapat mengelakkan pencemaran. Kebolehpercayaan sistem ini juga tinggi, memungkinkannya beroperasi 24/7 tanpa masalah. Hasilnya: lebih sedikit wafer yang perlu diperbaiki, proses pengeluaran yang lebih cepat, dan proses yang benar-benar memenuhi spesifikasi yang ditetapkan.
Apa yang perlu diingat
Semasa pemasangan, pastikan saiz lampu dan antaramuka penyambungnya sesuai dengan stesen pemanasan yang digunakan. Pastikan juga bahawa hubungan termal antara lampu dan stesen pemanasan berjalan dengan baik semasa proses ujian. Lampu tersebut akan berfungsi dengan baik apabila reflektor di dalam bilik pemanasan tetap bersih, dan aliran udara di dalam bilik pemanasan berada pada tahap yang ditetapkan. Jika tidak, keseragaman suhu akan terganggu. Rancanglah proses ujian dengan teliti agar profil pemanasan sesuai dengan lapisan bahan yang digunakan sebelum meningkatkan kapasiti pengeluaran.