Na linii produkcyjnej warunki pracy lamp PVD stają się coraz trudniejsze do kontrolowania – co kwartał wydaje się, że musimy „obciąć” jeszcze jeden element układu. Wystarczy jedna zmiana temperatury lampy, aby profile termiczne procesu utwardzania fotorezystu uległy zmianie, a to z kolei powoduje niestabilność grubości warstwy naniesionej na płytkę. Lampy te zostały zaprojektowane tak, aby zapewnić stabilną kontrolę temperatury, zarówno w poszczególnych cyklach produkcji, jak i w dłuższej perspektywie czasowej.
Co naprawdę ma znaczenie Lampy te emitują krótkofalowe promienie podczerwone, a ich obudowy są wykonane z kwarcu. Dzięki temu szybko osiągają pożądaną temperaturę, a kontrola jej wartości jest precyzyjna. W całej strefie obróbki jednostajność temperatury wynosi ±0,1°C – to wystarcza, by chronić krytyczne parametry procesu. Lampy te nadają się do używania w środowiskach klasy 1–100, charakteryzujących się hermetyczną konstrukcją i brakiem emisji cząstek. System termiczny jest zaprojektowany do pracy 7×24 godzin na dobę; dane z praktyki pokazują, że nie występują żadne awarie przez ponad 5 000 godzin pracy, a odchylenia temperatury wynoszą mniej niż 5%.
W procesie PVD kluczową rolę odgrywa stała temperatura podłoża – to ona decyduje o jakości produktu. Lampy te zapewniają stałą temperaturę podczas każdego cyklu obróbki, co zmniejsza zmienność grubości warstwy naniesionej na płytkę i zapewnia lepszą przyczepność warstwy do podłoża. Rezultatem jest przewidywalność procesu, mniej konieczności ponownej obróbki produktów oraz możliwość planowania prac konserwacyjnych.
Użytkowanie energii jest zoptymalizowane tak, aby zapewnić szybkie osiągnięcie pożądanej temperatury przy jednoczesnym minimalnym zużyciu energii. Dzięki temu można obniżyć koszty operacyjne bez rezygnacji z szybkości procesu.
Kilka praktycznych uwag dotyczących instalacji Lampy te pasują bezpośrednio do standardowych platform w urządzeniach PVD, ale podczas instalacji należy sprawdzić ich dostosowanie do portów termicznych komory oraz drogi chłodzenia. Oczekuje się krótkiego okresu konfiguracji, aby dostosować parametry PID do specyfiki komory i ustawić odpowiednie wartości. Gdy to zostanie zrobione, powtarzalność wartości temperatury będzie wysoka, a interwały konserwacyjne wydłużone – to oznacza więcej czasu pracy urządzeń i mniejsze obciążenia obsługi.