На производстве по технологии литографии быстро понимаешь, что даже небольшое отклонение температуры в полградуса может привести к нарушению...

На литографическом этаже выпекание E-beam резиста — это не просто прогрев. Это термическое событие, задающее контроль критических размеров. Смещение...