Kızılötesi Isıtma ile Zorlanmış Hava Isıtması Arasındaki Farklar: Temiz Odalarda Asıl Önemli Olan Nedir?
Eğer yarı iletkenlerin derin işlemleriyle uğraşıyorsanız, termal yükleri yönetmenin ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Çoğumuz, havayı ısıtarak parçaların da ısınmasını umarak zorlanmış hava yöntemiyle çalışmayı öğrendik. Ancak bu yöntemde gecikme oluyor; işlem oldukça yavaş ilerliyor.
Kızılötesi ısıtma ise bu aracıyı ortadan kaldırır. Havanın ısınmasını beklemek yerine, enerji doğrudan parçaya aktarılır.
Zaman konusuna gelelim…
Yüksek hassasiyet gerektiren üretim süreçlerinde, ısınma ve soğuma süreçleri çok önemlidir. Zorlanmış hava yöntemi oldukça yavaştır; işleme başlayabilmek için tüm odanın stabil hale gelmesini beklemek zorundasınız. Bu büyük bir engeldir.
Kızılötesi ısıtma ise farklıdır. Hedeflenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşılır. Bu nedenle toplam işlem süresi büyük ölçüde azalır. Her bir wafer veya bileşen için bu saniyelerin azalması, genel işlem süresinin hızlanmasını sağlar.
“Dağınıklık” faktörü de var…
Zorlanmış hava, parçaları hareket ettirir. En iyi HEPA filtreler kullanılsa bile, yüksek hızda sıcak hava temiz odada türbülans yaratır. Bu türbülans, parçacıkları istenmeyen yerlere taşır.
Kızılötesi ısıtıcılar ise sabit kalır. Ne üfleyiciler vardır, ne de kanallar; rastgele parçacıklar havada uçuşmaz. Böylece ortam daha temiz kalır ve ekipmanlar odanın yarısını kaplamaz.
Ama her şey mucizevi değil…
Kızılötesi ısıtmanın da bazı dezavantajları vardır. Yöneltilebilir olması nedeniyle, havanın sağladığı o “sıcaklık tabakası” elde edilemez. Dikkatli olmazsanız, sıcak noktalar oluşabilir. Eğer parçanızın şekli tuhafse, enerjiyi her yere yaymak için bir yansıtıcı düzenek kullanmanız gerekir.
Ayrıca güç yoğunluğunu da dikkatlice kontrol etmek gerekir. Eğer PID kontrol cihazı doğru ayarlanmazsa, yüksek güçlü lambalar ince parçaları anında yok edebilir.
Tavsiyem: Sıcaklığı aşmamak için hızlı tepki veren termokupllar kullanın. Ayrıca lamba muhafazaları için uygun bir soğutma sistemi unutmayın; aksi takdirde yanmış filamentleri sık sık değiştirmek zorunda kalırsınız.