Zeminde, foto direncin stabilitesi yalnızca son termal işlemle sınırlıdır. Wafer’ler taşıyıcılar üzerinde bulunur ve her dakika meydana gelen sıcaklık değişiklikleri, foto dirençte boyut hatalarına neden olabilir. Bu durumda verimlilik açısından zarara uğranır. Biz de bu belirsizliği ortadan kaldırmak için yarı iletken temiz odası için özel ısıtıcılar geliştirdik.
Önemli olan faktörler
Kuvars kapsül içindeki kısa dalga infrakızıl elemanlar kullanılmaktadır; bu sayede hızlı tepki süresi ve düşük gaz salınımı sağlanır. Sistem, taşıyıcı üzerindeki tüm wafer’ler için sıcaklık birimini ±0,1°C aralığında sabit tutar ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C’nin altındadır. Isıtma işlemi her seferinde aynı şekilde gerçekleşir; böylece hassas filmlerde sıcaklık sorunları yaşanmaz.
Isıtıcı, 1–100 sınıfı temiz oda uyumlu malzemelerden yapılmıştır ve hava akışının düzgün olması için özel düzenlemeler yapılmıştır. Kontrol algoritması, hat voltajındaki dalgalanmalar ve kapının açılması gibi durumlarda bile stabil kalır.
Litografi süreçlerinde neden işe yarar?
Litografi süreçlerinde, bu ısıtıcı foto direnci doğru sıcaklıkta tutar; böylece aşırı ısınma veya soğuma olmaz. Böylece tutarlı bir boyut kontrolü sağlanır, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve güvenilir bir çalışma süresi elde edilir. Enerji tüketimi, hedefe yönelik ısıtma ve bekleme modları sayesinde azaltılır. Ayrıca sistem 7/24 çalışabilir; beklenmedik arızalar olmaz. Süreç tamamen kaydedilir ve denetlenebilir durumdadır.
Planlamanız gerekenler
Montaj için özel ve filtrelenmiş bir güç kaynağı ile doğru topraklama gereklidir; böylece elektrostatik boşalmalar önlenir. Isıtıcı, temiz odanın sıcaklığının 20–25°C ve nem oranının %35–55 arasında olduğu durumlarda standartlara uygun olarak çalışır. Bu aralığın dışında ise sıcaklık kontrolü daha zorlaşır. Wafer taşıyıcılarıyla birlikte bir doğrulama yapılmalı ve hava akışının fabrika düzenine uygun olduğundan emin olunmalıdır.