Neden kurşunsuz yıkama işlemleri için kızılötesi teknolojisini kullanıyoruz?
Yarı iletken sektörü, “yeşil” ve kurşunsuz standartlara doğru hızla ilerliyor. Bunu, yıkama işleminin kurutma aşamasında net bir şekilde görebilirsiniz.
Uzun süre boyunca konveksiyon fırınlarından yararlandık. Ama dürüst olmak gerekirse, sadece birkaç wafer’ı kurutmak için devasa bir odanın ısınması enerji israfıdır. Bu yüzden kızılötesi lambalara geçtik. Bu lambalar hava yerine doğrudan wafer’in yüzeyini ısıtır. Artık alan kaplayan devasa hava işleme ünitelerine veya temiz odaların karbon ayak izini artıran unsurlara gerek kalmıyor.
Kurutma işlemi nasıl çalışır?
Yıkama işlemi sırasında, nem ve kimyasal kalıntılarla uğraşmak zorundasınız. Bunun üstesinden gelmek için su geçirmez kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Eğer standart bir lamba kullanırsanız, nem nedeniyle kısa devre oluşabilir veya filaman hızla oksitlenebilir. Bu da ekipmanların zarar görmesine yol açar.
Asıl sihir, radyasyon enerjisindedir. Fotonlar, wafer üzerindeki sıvı tabakasından doğrudan geçerek su moleküllerinin titreşmesine ve hızla buharlaşmasına neden olur. Ve bu oldukça hızlı bir süreçtir. Bu sistemlerin çoğu, saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşır. Bu çok önemlidir; çünkü böylece rahatsız edici su lekelerinin veya “kuruma lekelerinin” oluşması engellenir. Bu tür lekeler, çip verimliliğini düşürür ve insanın sinirlerini bozar.
Nemli ortamlarla başa çıkma
Standart kuvars tüpleri, nemli ortamların zorluklarına dayanamaz. Elektrotları mühürlemek ve devrelerin kuru kalmasını sağlamak için özel kaplamalar kullanmamız gerekiyor. Yüksek yoğunlukta, kısa dalga boyunda ışık kullanarak ısıyı tam da olması gereken yere, yani yüzeye yönlendiriyoruz.
Eksiklikler (çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Kızılötesi teknolojisi de mucizevi bir çözüm değildir. Kendine özgü bazı sorunları vardır. Bu lambalar yoğun ve lokalize ısı üretir. Eğer konveyörün hızı yanlışsa veya güç seviyesi çok yüksekse, wafer aşırı ısınabilir veya foto Dirençler zarar görebilir. Bu yüzden hız ve güç seviyelerini dengeli tutmak gerekiyor. Ayrıca, oda duvarlarından yansıyan ısıyı da unutmamak gerekir. Bu ısıyı kontrol altına alabilecek bir soğutma sistemi gereklidir; aksi takdirde ekipmanlar zarar görür.