Litografi sürecinde, yumuşak pişirme işlemi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, foto direncin profilini nanometreler cinsinden değiştirebilir. Bu tür değişimler doğrudan hata olarak ortaya çıkar. Biz de fabrikamızdaki ısıtıcıları bu gerçeğe uygun şekilde tasarladık; bu durumla mücadele etmek yerine onunla başa çıkmayı tercih ettik. “Made in China” üreticisi olarak, waferlerin yüzeyindeki sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit tutan ısıtıcılar üretiyoruz; böylece kritik boyutlar kontrol altında kalır.
Arka planda önemli olan şeyler
Kuvars-halogen emitörleri kullanarak kısa dalga boylu kızılötesi ısıtma sistemleri kullanıyoruz. Isı hızlı ve kuruyarak verilir; düşük kütle sayesinde sıcaklık hızla istenen seviyeye ulaşır. Kalibre edilmiş sensörler sayesinde her döngüde sıcaklık ±0,2°C aralığında sabit tutulur.
Yüksek saflıkta malzemeler ve kaynaklanmış bağlantılar kullanılarak gaz salınımı ve parçacık oluşumu en aza indirgenir; böylece cihaz Cleanroom Class 1–100 standartlarına uyar. Güç yoğunluğu, wafer tutucularına ve sıcak platalara uyacak şekilde ayarlanır; ayrıca yaygın OEM ekipmanlarıyla uyumlu voltaj ve boyut seçenekleri de sunulur.
Neden bu çözüm üretimde kullanılır?
Foto direnç işlemleri – yumuşak pişirme, sert pişirme ve pişirme sonrası işlemler – istikrarlı bir ısı kontrolüne bağlıdır. Bizim ısıtıcılarımız belirlenen sıcaklığa hızla ulaşır, aşırı ısı artışını engeller ve waferler arasındaki sıcaklık uniformitesini korur. Böylece daha düzgün kritik boyut dağılımları elde edilir, tekrar işleme ihtiyacı azalır ve üretim verimliliği artar.
Enerji tüketimi ise sistemin talep üzerine ısınması ve hızlı soğuması sayesinde azalır. 7/24 çalışma imkanı vardır ve planlanmayan duruşlar azalır.
Doğru yapılması gerekenler
Montaj işlemi, termal arayüzle ilgilidir: Tutucuların düzgünlüğü, temas basıncı ve emisivite önemlidir. Küçük bir hava boşluğu bile lokal olarak sıcaklık düzensizliklerine neden olabilir.
İşlem prosedürlerinize uygun sıcaklık profillerini belirlemek için kısa bir test yapın, ardından kalibrasyonu sabitleyin. Cihaz belirlenen şekilde çalışacaktır – ancak mekanik arayüzü de termal sistemin bir parçası olarak gördüğünüz sürece.