Litografi bölümünde, yarım derecelik bir sıcaklık farkının bile kritik boyut kontrolünü istenen standartların dışına çıkarabileceğini hızla öğrenirsiniz. Bu ısıtıcılar sadece ısıtıcı değildir; aynı zamanda sürecin stabil kalmasını sağlayan unsurlardır. Bunları, her wafer’in her seferinde aynı termal koşullara tabi tutulması gereken yarı iletken üretimi için geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar
Kvarts-halojen emiterler kullanarak, ısıtma yüzeyinde ±0,1°C’lik bir termal tutarlılık elde ediyoruz. Seferden sefere sıcaklık tutarlılığı ise ±0,2°C civarında kalıyor; böylece yumuşak ve sert ısıtma işlemleri istenen standartlar içinde gerçekleşiyor. Sistem, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında sorunsuz çalışır ve böylece kusur sayısını en aza indirir. Enerji tüketimi ölçülür ve kontrol edilir; emiterler ise 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit çıkış verir.
Neden fabrikalarda işe yarar?
Isıtmanın rezaisten uyumlu olması gerekir; tersi durumda işler kötüye gider. Yüksek termal tutarlılık, kenar bölgelerindeki kalınlık farklarını azaltır ve bu da CD tutarlılığını ve verimliliği artırır. Temiz oda koşullarına uygun yapı ve mühürlü optik sistemler, kirliliğin içeri girmesini engeller. Ayrıca sistem 24/7 çalışmaya uygun şekilde tasarlanmıştır ve beklenmedik sorunlar ortaya çıkmaz. Sonuç olarak daha az yeniden işleme ihtiyacı, daha hızlı kalifikasyon süreçleri ve istenen standartlar içinde çalışan bir süreç elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum sırasında lambanın boyutlarının ve konektör arayüzünün ünitenize uygun olup olmadığı kontrol edilmelidir. Ayrıca kalifikasyon sırasında ısı transferinin doğru olduğundan emin olunmalıdır. Lamba, odanın yansıtıcıları temiz kaldığında ve ısıtma odasının egzoz akışı tasarlanan seviyede olduğunda istenen standartlara ulaşır; aksi takdirde termal tutarlılık bozulur. Miktarı artırmadan önce, rezaist ve substrat yığınlarıyla olan uyumu doğrulamak için kalifikasyon testleri yapılmalıdır.