На виробничій лінії процес PVD стає все складнішим для контролю – щокварталу здається, що ми постійно зменшуємо можливості для точного контролю процесу. Достатньо лише одного перепаду температури від лампи, щоб порушитися профіль нагрівання фоточутливого шару, а це призводить до неоднорідності товщини шару та його якості. Ми створили ці лампи для того, щоб забезпечити стабільні умови нагрівання протягом усього процесу.
Що насправді має значення Ці лампи використовують короткохвильове інфрачервоне світло та мають кварцові оболонки, тож процес нагрівання відбувається швидко та стабільно. У всій зоні нагрівання однорідність температури становить ±0,1°C – цього достатньо для збереження якості продукту під час процедур нагрівання. Лампи призначені для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; вони мають герметичну конструкцію та не створюють жодних частинок пилу. Термальна система розрахована на роботу 24/7; дані з практики показують, що протягом 5 000 годин роботи не було жодних несправ, а відхилення параметрів нагрівання становлять менше 5%.
У процесі PVD важливою є стабільна температура поверхні підкладки – це визначає якість продукту. Ці лампи забезпечують стабільний профіль нагрівання при кожному проходженні, що зменшує неоднорідність товщини шару та покращує його адгезію до поверхні підкладки. Це дозволяє отримувати стабільні результати процесу, менше необхідності у корекціях та можливість планувати технічне обслуговування.
Витрати енергії оптимізовані для швидкого нагрівання та мінімізації втрат під час бездіяльності, що дозволяє знизити витрати на експлуатацію без порушення швидкості нагрівання.
Кілька практичних порад щодо встановлення Лампи можна без проблем встановити на стандартні платформи для процесу PVD, але все одно необхідно перевірити їх правильне розташування щодо термальних портів камери та шляхів охолодження під час встановлення. Очікуйте короткий час на налаштування параметрів PID для вашої камери та фіксаторів. Після цього параметри будуть стабільними, а інтервали технічного обслуговування будуть подовженими – це означає більше часу роботи та менше необхідності у постійному контролі.