加热化学晶圆时的安全措施 说实话，用红外线灯对化学溶液进行加热，其实就如同在玩火一样危险。周围充满了易挥发的蒸汽，只要有一个火花或表面温度过高，就有可能引发爆炸。这样一来，问题就严重了。 因此，我们不会简单地把红外线灯放进去，然后寄希望于一切都会顺利。我们会为这些高风险的部位设计专门的封装结构，以...

一种更有效的MEMS晶圆干燥方法 如果您从事过MEMS传感器的制造工作，就会知道其中存在的挑战。要让晶圆在干燥过程中不会留下残留物，或者因热应力而变形，实在是一件非常困难的事。 大多数人选择使用常规的对流式加热器，但这种方法存在一个问题：它会导致设备腔室内的内壁被过度加热。这不仅浪费能源，而且对于...

在半导体工厂中减少碳排放：为何红外加热是最佳选择？ 如果我们真想要实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止能源的浪费。而造成能源浪费的最大原因，就是我们用来加热晶圆的那种加热方式。 大多数传统的电阻式加热器其实就相当于整个机器的“空间加热器”。它们会将热量散发出去，浪费大量电能。因此，我们现在改用短...

简介 我们设计的这款晶圆干燥灯，堪称生产线上的得力助手——在包装和测试流程高速运转时，它总能提供可靠的烘干效果。这并非那种可随意使用的普通加热器，而是一款专为生产线设计的设备，能够持续输出高强度的热量，从而快速干燥晶圆，同时将停机时间降到最低。 技术细节 让我们来详细了解一下它的运作原理。该设备的...

在制造车间里，大家都知道，烘烤温度只要偏离0.1°C，就足以让光阻层的质量下降到无法使用的程度。因此，我们才设计了这种晶圆干燥机，以便在需要精确控制温度、确保重复性以及控制颗粒污染的情况下使用。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们能够保持150毫米和200毫米尺寸的晶圆表面温度均匀性在...

在晶圆厂车间，损失往往发生得非常快。清洗后留下的淡淡水印，烘烤曲线不平整——一个问题就可能导致整批太阳能电池晶圆报废。传统的干燥灯容易漂移，而这种漂移会产生热梯度，导致光刻胶变形和意外的颗粒污染。最终带来的代价是报废、返工以及无法追回的产能损失。 核心关键 我们设计的太阳能电池晶圆干燥灯采用钨卤素...

在线，光刻胶烘烤的重复性是基线——没有余地。在晶圆上温度漂移几度，你就会打印出0.1 μm的线宽误差，然后在每一层光刻过程中看到它的积累。我们为晶圆固化灯构建的反射器旨在消除这种可变性。它将红外线塑造成一个稳定的亚毫米热场，因此您的软烘烤和硬烘烤在每一批次中都能保持在规范范围内。 技术上重要的事项...