晶圆加热的安全距离

加热化学晶圆时的安全措施 说实话，用红外线灯对化学溶液进行加热，其实就如同在玩火一样危险。周围充满了易挥发的蒸汽，只要有一个火花或表面温度过高，就有可能引发爆炸。这样一来，问题就严重了。 因此，我们不会简单地把红外线灯放进去，然后寄希望于一切都会顺利。我们会为这些高风险的部位设计专门的封装结构，以...