电子束光刻胶烘烤加热器

在光刻车间，电子束抗蚀剂烘烤不仅仅是预热过程。它是设定关键尺寸（CD）控制的热事件。晶圆上2°C的温度漂移即可导致纳米级的特征偏移，而纳米级的偏差往往决定了良率与报废的分界。我们的电子束抗蚀剂烘烤加热器正是基于这一实际需求设计：保持热事件的稳定、洁净和可重复性。 技术关键点 我们实现了晶圆表面抗蚀...