中国晶圆干燥机制造商

在制造车间里，大家都知道，烘烤温度只要偏离0.1°C，就足以让光阻层的质量下降到无法使用的程度。因此，我们才设计了这种晶圆干燥机，以便在需要精确控制温度、确保重复性以及控制颗粒污染的情况下使用。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们能够保持150毫米和200毫米尺寸的晶圆表面温度均匀性在...