别再等待晶圆加热了 如果你从事过半导体深度加工工作，那么你一定知道强制对流式加热方式的弊端。它的加热速度极其缓慢，你只能坐等空气变热，然后再等待热量渗入晶圆。这无疑是个巨大的瓶颈。 不过，还有更好的方法。真空环境下使用的红外线加热器可以跳过这个中间环节。它们不依赖空气来传递热量，而是利用电磁辐射直...

防止真空室过热 如果您曾经在真空室内加热晶圆或基片，那么您一定了解其中的不便之处。最麻烦的问题就是热量积聚现象。 普通的红外灯其实只是向各个方向散发能量的灯泡而已。在空间有限的半导体生产环境中，这显然是个问题——真空室的墙壁会吸收掉所有这些多余的能量。很快，真空室的内壁就会过热，进而导致设备变形，...