无臭氧红外灯

On the fab floor，光刻胶处理不允许热漂移。软烘烤温度偏差仅0.5℃，就会导致晶圆上的CD（关键尺寸）分布变化。硬烘烤不稳定，则会引发残胶和附着力问题。传统灯具会产生臭氧，加剧这些问题，臭氧会破坏光刻胶并增加颗粒数量——尤其是在Class 1–100级洁净室内。 以下是关键要点。 这...