MEMS传感器晶圆干燥加热器

一种更有效的MEMS晶圆干燥方法 如果您从事过MEMS传感器的制造工作，就会知道其中存在的挑战。要让晶圆在干燥过程中不会留下残留物，或者因热应力而变形，实在是一件非常困难的事。 大多数人选择使用常规的对流式加热器，但这种方法存在一个问题：它会导致设备腔室内的内壁被过度加热。这不仅浪费能源，而且对于...