燃料电池催化剂干燥灯

在光刻胶的软烘或硬烘过程中，温度控制极为重要。一旦出现局部过热的情况，催化剂层就会受到影响；而如果某个区域温度过低，则会在显影后出现瑕疵。正因如此，燃料电池催化剂干燥灯被设计为可应用于各种工艺环节：晶圆干燥、光刻工艺、封装处理以及清洗后的干燥——所有这些工艺都可以在同一个符合洁净室标准的加热装置中...