为何我们选择红外技术来处理无铅半导体材料 业界正在努力实现无铅且零排放的生产标准。这固然很好，但这样的要求使得实际生产过程变得相当复杂。 长期以来，我们一直依赖对流式烤箱来进行加热处理。不过，这类烤箱只是让空气变热而已。这种方式效率低下，还会浪费大量能源。最糟糕的是，它还会把灰尘和颗粒物散布到晶圆...

在制造车间里，大家都知道，烘烤温度只要偏离0.1°C，就足以让光阻层的质量下降到无法使用的程度。因此，我们才设计了这种晶圆干燥机，以便在需要精确控制温度、确保重复性以及控制颗粒污染的情况下使用。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们能够保持150毫米和200毫米尺寸的晶圆表面温度均匀性在...