洁净室工作台红外灯
在制造过程中减少碳排放:为何红外加热是最佳选择
说实话,在洁净室里进行加热操作其实相当麻烦。需要极高的精确度,同时又不能破坏空气质量。大多数人仍然使用传统的对流式烤箱,但那其实就像为了加热一片披萨而让整个房子的炉子都运转起来一样,实在是浪费资源。
因此,我们转而使用红外加热灯。这类灯具不会加热空气...
洁净室红外加热器
红外加热与强制空气加热:在洁净室中,什么才是真正重要的?
如果您从事半导体深度加工工作,那您一定明白控制温度的难度有多大。我们大多数人都是用强制空气加热的方式——先加热空气,再让空气来加热工件。但这种方式效率很低,因为存在时间上的延迟。
而红外加热则无需经过这个中间步骤。能量可以直接传递到工件上,...
洁净室烤箱红外加热器
如何让100级洁净室始终保持清洁状态?
如果您正在运营100级(ISO 5标准)的洁净室,那么您肯定知道颗粒物带来的危害。哪怕是一点点的颗粒物或劣质加热器释放出的气体,都可能毁掉您的晶圆或医疗光学元件。这无疑是一场灾难。
因此,我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
为什么选择石英?
因为石英具有出...
洁净室设备升级中
在高温与化学品共存的环境中确保设备安全 如果你正在为工厂的洁净室升级设备——尤其是用于化学清洁阶段的设备——那你肯定明白其中的风险。因为这些环境中存在着易燃的蒸汽和液体,它们会侵蚀一切与其接触的物质。
在这种环境下,普通的红外灯简直就是危险源。只要有一点点火花或石英管出现微小的裂纹,就足以让情况变...
半导体洁净室推车式加热器
在制造过程中,光刻胶的烘烤稳定性取决于上一次热处理的效果。晶圆被放置在传送车上,而温度的任何变化都可能导致光刻胶的尺寸出现误差,进而影响产品的良率。为此,我们设计了半导体洁净室用加热器,以消除这种不确定性。
关键设计要点
我们选用了封装在石英外壳中的短波红外元件——这类元件的响应速度快,且几乎不会...