在光刻胶的软烘或硬烘过程中，温度控制极为重要。一旦出现局部过热的情况，催化剂层就会受到影响；而如果某个区域温度过低，则会在显影后出现瑕疵。正因如此，燃料电池催化剂干燥灯被设计为可应用于各种工艺环节：晶圆干燥、光刻工艺、封装处理以及清洗后的干燥——所有这些工艺都可以在同一个符合洁净室标准的加热装置中...

在晶圆厂车间，损失往往发生得非常快。清洗后留下的淡淡水印，烘烤曲线不平整——一个问题就可能导致整批太阳能电池晶圆报废。传统的干燥灯容易漂移，而这种漂移会产生热梯度，导致光刻胶变形和意外的颗粒污染。最终带来的代价是报废、返工以及无法追回的产能损失。 核心关键 我们设计的太阳能电池晶圆干燥灯采用钨卤素...