节能晶圆加热器

在半导体工厂中减少碳排放：为何红外加热是最佳选择？ 如果我们真想要实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止能源的浪费。而造成能源浪费的最大原因，就是我们用来加热晶圆的那种加热方式。 大多数传统的电阻式加热器其实就相当于整个机器的“空间加热器”。它们会将热量散发出去，浪费大量电能。因此，我们现在改用短...