与真空环境兼容的红外加热器

别再等待晶圆加热了 如果你从事过半导体深度加工工作，那么你一定知道强制对流式加热方式的弊端。它的加热速度极其缓慢，你只能坐等空气变热，然后再等待热量渗入晶圆。这无疑是个巨大的瓶颈。 不过，还有更好的方法。真空环境下使用的红外线加热器可以跳过这个中间环节。它们不依赖空气来传递热量，而是利用电磁辐射直...