标签为“保存”的页面如下 节能型半导体加热器 在半成品加工过程中减少碳排放:为何红外灯是最佳选择 说实话,传统的电阻式加热器非常耗能。在晶圆开始受热之前,它们就已经浪费了大量电能来加热腔室内的空气。这种做法效率极低。在当今人们都在努力实现碳减排目标的情况下,这显然是不明智的。 因此,我们选择了短波红外灯。与其加热整个腔室,不如将能量直接作用于... Read more...
节能型半导体加热器 在半成品加工过程中减少碳排放:为何红外灯是最佳选择 说实话,传统的电阻式加热器非常耗能。在晶圆开始受热之前,它们就已经浪费了大量电能来加热腔室内的空气。这种做法效率极低。在当今人们都在努力实现碳减排目标的情况下,这显然是不明智的。 因此,我们选择了短波红外灯。与其加热整个腔室,不如将能量直接作用于... Read more...