中国制造的加热器工厂

在光刻过程中，即使在软化烘烤阶段温度只有1℃的偏差，也足以使光阻层的厚度发生纳米级的变化——而这种变化会直接表现为重叠误差。因此，我们设计的加热器能够适应这一实际情况，而非试图对抗它。作为一家中国制造的加热器生产商，我们所提供的加热器能够确保晶圆表面的温度均匀性保持在±0.1℃以内，从而让关键尺寸...