在半导体工厂中减少碳排放：为何红外加热是最佳选择？ 如果我们真想要实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止能源的浪费。而造成能源浪费的最大原因，就是我们用来加热晶圆的那种加热方式。 大多数传统的电阻式加热器其实就相当于整个机器的“空间加热器”。它们会将热量散发出去，浪费大量电能。因此，我们现在改用短...

在半成品加工过程中减少碳排放：为何红外灯是最佳选择 说实话，传统的电阻式加热器非常耗能。在晶圆开始受热之前，它们就已经浪费了大量电能来加热腔室内的空气。这种做法效率极低。在当今人们都在努力实现碳减排目标的情况下，这显然是不明智的。 因此，我们选择了短波红外灯。与其加热整个腔室，不如将能量直接作用于...

防止碎屑飞溅：确保光源故障时生产环境依然清洁 在高负载的生产环境中，如果光源发生故障，那可不只是麻烦事——那简直就是一场灾难。一旦石英外壳破裂，玻璃碎片和灰尘就会飞溅到晶圆上，导致整批产品报废。这时，就需要对整个生产线进行彻底清洗，同时还会浪费大量时间。这无疑是个令人头疼的问题。 因此，我们在设计...