ওয়েফারের তাপমাত্রা অনুমান করা বন্ধ করুন।
যদি আপনি একটি “স্মার্ট ফ্যাব” তৈরি করছেন, তাহলে প্রথমেই কন্টাক্ট থার্মোকাপলগুলো ব্যবহার করা বন্ধ করুন। কারণ এগুলো খুবই ধীরগতির। আর আপনি চাইবেন না যে আপনার সেন্সরটি ওয়েফারকে স্পর্শ করার ফলে ওয়েফারটি দূষিত হয়ে যাক।
এজন্যই আমরা উচ্চ-দক্ষতাসম্পন্ন ইনফ্রারেড (IR) সিস্টেম ব্যবহার করি। এগুলো ওয়েফারের পৃষ্ঠকে স্পর্শ করে না; বরং রিয়েল-টাইমে কাজ করে। এগুলো আপনাকে ঠিক সেই ধরনের তথ্য দেয়, যা আপনার ডিজিটাল টুইনগুলোকে সিঙ্ক্রোনাইজ রাখতে প্রয়োজন।
IR সিস্টেমের কঠিন দিকগুলো
ওয়েফার তৈরির ক্ষেত্রে সময় খুবই গুরুত্বপূর্ণ—মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই কাজ সম্পন্ন হয়। আমাদের IR সেন্সরগুলো ওয়েফার থেকে আসা ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক বিকিরণ শনাক্ত করে; কিন্তু এটা “প্লাগ অ্যান্ড প্লে” ধরনের ব্যবস্থা নয়।
সেমিকন্ডাক্টরগুলো খুবই সংবেদনশীল। ডোপান্টের মাত্রা বা ব্যবহৃত কোটিংয়ের উপর নির্ভর করে এগুলোর বিকিরণ ক্ষমতা পরিবর্তিত হয়। যদি আপনি শুধুমাত্র 0.95 মানটি ব্যবহার করেন, তাহলে আপনার তাপমাত্রা পরিমাপগুলো ভুল হবে। আর এই ব্যবসায় সামান্য ভুলই পুরো ব্যাচটিকে নষ্ট করে দেয়। আমরা ঠিক তথ্য পাওয়ার জন্য অ্যাডজাস্টেবল কম্পেনসেশন ব্যবহার করি।
তথ্য প্রেরণের ব্যবস্থা
যদি তথ্যগুলো কোনো বাধার কারণে আটকে যায়, তাহলে একটি আধুনিক ফ্যাবও কোনো কাজে আসবে না। আমরা ঐ পুরানো 4-20mA লুপগুলো ব্যবহার করি না। এগুলো অপ্রয়োজনীয়।
বরং আমরা ডিজিটাল ইন্টারফেস ব্যবহার করি; যা থার্মাল ডেটাগুলোকে সরাসরি PLC বা MES-এ পাঠায়। এর ফলে আপনি 300 মিমি ওয়েফারের উপরিভাগের তাপমাত্রা রিয়েল-টাইমে দেখতে পারেন। যদি কোনো জায়গায় তাপমাত্রা বেশি হয়, তাহলে আপনি তা দেখে ওয়েফারটি নষ্ট হওয়ার আগেই তা ঠিক করতে পারেন।
কিছু বিষয় যা মনে রাখা দরকার
তবে সবকিছুই সহজ নয়। উচ্চ-গতির IR সেন্সরগুলো অনেক তথ্য উৎপন্ন করে। যদি আপনার নেটওয়ার্কের ব্যান্ডউইডথ যথেষ্ট না হয়, তাহলে তথ্য প্রেরণে বিলম্ব হবে। আর তিন সেকেন্ডের বিলম্বসহ “রিয়েল-টাইম” তথ্য আসলে রিয়েল-টাইম নয়—এটা শুধুমাত্র অতীতের তথ্য।
আর, আপনার চারপাশের পরিবেশ নিয়েও সাবধান থাকুন। IR সেন্সরগুলো টুলের ভিতরের কোয়ার্টজ দেয়ালগুলো থেকে আসা প্রতিফলনের কারণে বিভ্রান্ত হতে পারে। আমরা সাধারণত সেন্সরের দৃষ্টিক্ষেত্রকে সুরক্ষিত রাখি। এটা একটি সহজ সমাধান; কিন্তু এর ফলে আপনি আসল ওয়েফারের তাপমাত্রা জানতে পারেন, নাকি চেম্বারের ভিতরকার তাপমাত্রা।