अपने वेफरों के गर्म होने का इंतजार बंद करें।
यदि आपने सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में कुछ समय बिताया है, तो आपको “जबरन वायु-संवहन” प्रणाली की समस्याओं का अहसास होगा। यह प्रक्रिया बहुत धीमी है… आपको बस वहीं बैठकर इंतजार करना ही पड़ता है, जब तक कि हवा गर्म न हो जाए, और फिर उस गर्मी का प्रभाव वेफर पर न पड़े। यह एक बड़ी समस्या है।
लेकिन इसका बेहतर तरीका है… वैक्यूम-अनुकूल इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करें। ऐसे हीटरों में हवा की आवश्यकता ही नहीं होती… वे विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके ऊर्जा को सीधे वेफर तक पहुँचाते हैं।
क्यों “वायु-संवहन” प्रणाली आपके उत्पादन समय को बर्बाद कर रही है?
गर्म हवा बहुत धीरे ही गर्मी पहुँचाती है… इस कारण उत्पादन समय में विलंब होता है। इसके अलावा, यदि आप वैक्यूम वातावरण को गैस-युक्त वातावरण में बदलने की कोशिश करते हैं, तो इससे संदूषण एवं दबाव-परिवर्तन जैसी समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं।
इन्फ्रारेड लैंप अलग ही हैं… उन्हें वैक्यूम वातावरण ही पसंद है।
इसका सबसे बड़ा फायदा यह है कि गर्मी सीधे वेफर तक पहुँचती है… इससे उत्पादन समय कम हो जाता है… कुछ ही सेकंड में ही वेफर गर्म हो जाता है। यह बहुत ही तेज़ है… और यह आपके कार्य-प्रवाह को बदल देता है।
हम ऐसे हीटरों को कैसे बनाते हैं?
आप एक सामान्य हीटर को उच्च-वैक्यूम वातावरण में नहीं रख सकते… ऐसा करने से प्रदूषक गैसें बाहर निकल जाती हैं… जिससे पूरा उत्पाद नष्ट हो जाता है।
इसीलिए हम विशेष क्वार्ट्ज आवरणों एवं सीलों का उपयोग करते हैं… जो वैक्यूम वातावरण में काम करने के लिए उपयुक्त हैं।
सबसे अच्छी बात यह है कि गर्मी केंद्रित रूप से ही वेफर तक पहुँचती है… इससे वेफर के किनारों पर कोई नुकसान नहीं होता… इससे खराब होने वाले उत्पादों की संख्या कम हो जाती है।
लेकिन… हमेशा ही कोई न कोई समस्या होती है।
देखिए, इन्फ्रारेड हीटिंग कोई जादुई तरीका नहीं है… चूँकि ऊर्जा बहुत तेज़ी से वेफर तक पहुँचती है, इसलिए लक्षित तापमान से अधिक तापमान प्राप्त होने की संभावना है… यदि PID लूप ठीक से काम न करे, तो लक्षित तापमान से अधिक तापमान ही प्राप्त होगा।
आपको वास्तविक समय में सतह-तापमान की निगरानी करने हेतु तेज़-प्रतिक्रिया वाले पायरोमीटरों की आवश्यकता है… और ठंडक प्रणाली पर भी ध्यान देना आवश्यक है… यदि ठंडक प्रणाली ठीक से काम न करे, तो लैंपों से निकलने वाली गर्मी से वैक्यूम सील नष्ट हो जाएँगे।
अंत में, इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करने से उत्पादन समय में बचत होती है… आपको मशीन के गर्म होने में लगने वाले समय का भुगतान नहीं करना पड़ता… और आप तुरंत ही उत्पादन प्रक्रिया शुरू कर सकते हैं।