Trong quá trình sấy phim cảm quang, bạn tuyệt đối không thể chấp nhận sự biến đổi nhiệt độ. Chỉ cần có một điểm nóng, lớp xúc tác sẽ bị ảnh hưởng. Ngược lại, nếu có vùng lạnh, sản phẩm sẽ bị nhiễm bẩn sau khi được xử lý. Đó là lý do tại sao máy sấy xúc tác dùng trong các tế bào nhiên liệu được thiết kế để hoạt động trong môi trường vô trùng: sấy wafer, xử lý bằng phương pháp litography, đóng gói và sấy khô sau khi vệ sinh – tất cả đều được thực hiện thông qua một thiết bị duy nhất.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi sử dụng các linh kiện hồng ngoại tia ngắn có khả năng phản ứng nhanh và kiểm soát phổ ánh sáng chính xác, nhằm đảm bảo nhiệt độ được duy trì ở mức cần thiết trong quá trình xử lý xúc tác. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, giúp mỗi thành phần bán dẫn nhận được cùng một lượng nhiệt. Đầu đèn có thể hoạt động trong môi trường Class 1–100; không có hạt bụi nào được tạo ra từ bộ sưởi, và đường truyền ánh sáng được đóng kín để tránh sự nhiễm bẩn. Hiệu suất cung cấp năng lượng được duy trì ở mức ±0,5%, và độ lặp lại của quá trình xử lý được đảm bảo nhờ hệ thống đo nhiệt độ chính xác.
Tại sao thiết bị này phù hợp cho sản xuất
Trong thực tế, việc sử dụng thiết bị này giúp giảm số lượng sản phẩm lỗi do sự biến đổi nhiệt độ, nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn sau quá trình đóng gói, và giúp quá trình sấy khô diễn ra nhanh hơn – mà không gây ra các vết bẩn. Tiêu thụ năng lượng giảm xuống vì đèn có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó một cách ổn định. Thiết bị này có thể hoạt động liên tục 24/7. Chúng tôi đã có những thiết bị hoạt động hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ suy giảm hiệu suất chỉ dưới 5%, và độ đồng đều của nhiệt độ vẫn được duy trì ổn định.
Một vài lưu ý khi sử dụng
Thiết bị này có thể được tích hợp dễ dàng với các thiết bị xử lý tiêu chuẩn, nhưng việc căn chỉnh và độ phản xạ ánh sáng của bề mặt wafer vẫn rất quan trọng. Để đạt được kết quả tốt nhất, hãy căn chỉnh nhiệt độ dựa trên wafer được trang bị công cụ đo nhiệt độ trong môi trường sản xuất thực tế. Đồng thời, hãy đảm bảo rằng các phụ kiện xung quanh không che khu vực cần xử lý. Hãy coi cửa sổ thủy tinh như một linh kiện có thể hao mòn – hãy vệ sinh nó định kỳ để duy trì độ đồng đều của nhiệt độ.