
如何保持100级洁净室的清洁状态
在制造生物传感器时,所谓的“相对清洁”远远不够。哪怕只有一小片氧化物或残留的密封剂,都可能毁掉晶圆或破坏生物试剂。这实在令人沮丧。
问题在于,大多数加热元件都存在污染问题——它们会释放气体,还会产生颗粒物。如果将普通加热器放入100级洁净室中,就等于主动为污染创造条件。
因此,我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
其工作原理
大多数灯都依赖粘合剂或金属盖来固定部件。但这些问题材料在经历热循环后就会开始分解。我们则避免了使用这些材料。通过使用熔融石英,我们可以消除挥发性有机化合物以及灰尘。此外,我们还采用短波红外辐射,这样能量就能直接作用于被加热的物体上,而不会让空气变热。这样一来,就可以避免那些烦人的对流气流把灰尘带到传感器上。
设计细节
我们使用的石英外壳在高温下不会结晶。同时,我们确保灯丝位于中心位置,这样才能让热量均匀地分布在整个工作区域内。另外,我们不使用传统的密封材料,因为它们存在风险。相反,我们使用专为洁净室设计的密封件,这样在灯升温时也不会有气体泄漏。
一些实用建议
需要注意的是,高纯度石英质地较为脆弱。虽然它比玻璃更能承受温度突变,但绝不能直接用手触摸这些管子。皮肤上的油脂会导致局部过热,进而使管子过早损坏。因此,建议使用无绒手套,并用异丙醇进行清洁。
另外,关于电源方面:如果为了加快固化速度而过度使用这些灯,那么一定要确保通风良好。否则,过高的温度可能会让周围的塑料部件变形,从而导致洁净室失去洁净状态。