加热化学晶圆时的安全措施
说实话，用红外线灯对化学溶液进行加热，其实就如同在玩火一样危险。周围充满了易挥发的蒸汽，只要有一个火花或表面温度过高，就有可能引发爆炸。这样一来，问题就严重了。
因此，我们不会简单地把红外线灯放进去，然后寄希望于一切都会顺利。我们会为这些高风险的部位设计专门的封装结构，以确保安全。
关于安全距离的真相
当人们谈到“安全距离”时，他们通常只是想着确保各部件之间不会发生接触。但实际上，更重要的是要了解热量是如何传递的。
如果红外线灯离晶圆或化学溶液的表面太近，就会产生热点，这显然是不行的。因此，我们会让红外线灯的焦点保持在合适的距离上。这样既能避免加热元件与易燃蒸汽接触，又能确保晶圆获得所需的温度。
保护设备与自身安全
我们绝不让石英管暴露在外。那样做只会带来麻烦。
为了防止化学腐蚀和电弧现象损坏设备，我们会使用防护套和特殊的密封装置。这些装置就像一道屏障，能将高压部件与有害的空气隔离开来。我们使用的材料能够承受清洁剂的侵蚀而不被破坏。
不过，密封装置也有可能出现故障。如果密封失败，蒸汽就会进入电气部件，导致灯泡迅速烧毁。为避免这种情况，我们会使用耐高温的密封件。
折衷之道
不过，这样做也有缺点。加装防护套会稍微降低红外线的传输效率。部分热量会被防护套吸收，无法传达到晶圆上。
在选择功率时，您需要考虑到这一点。如果您希望加快升温速度，可能需要提高功率来弥补这一损失。但请确保电源能够承受额外的负荷，避免在运行过程中断电。