في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يمكن أن يؤدي حدوث تغير بمقدار 1 درجة مئوية أثناء عملية التسخين إلى تغيير في خصائص المادة المستخدمة في الطباعة بمقدار نانومترات، وهذا التغيير يظهر مباشرةً كخطأ في التصميم. لذلك، قمنا بتصميم أجهزة التسخين الخاصة بنا بحيث تتأقلم مع هذه الحقيقة، وليس لمحاربتها. كشركة مصنعة لأجهزة التسخين في الصين، نقوم بشحن وحدات تسخين تضمن استقرار درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، بحيث تظل الأبعاد الحرجة تحت السيطرة.
ما يهم حقًا نستخدم تقنية الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع استخدام مصادر حرارة من نوع الكوارتز-الهالوجين. الحرارة المنتجة سريعة وجافة، كما أن الكتلة المنخفضة تساعد على استقرار درجة الحرارة بسرعة. يتم التحكم في النظام باستخدام مستشعرات مُعتمدة وفق معايير NIST، ويتم ضمان التكرارية بدقة ±0.2 درجة مئوية من دورة إلى أخرى.
يعتمد التصميم على استخدام مواد عالية النقاء ووصلات ملحومة لتقليل الغازات الناتجة وتكوين الجسيمات، بحيث تلبي الوحدة متطلبات الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100. يتم تعديل كثافة الطاقة بحيث تتناسب مع أجهزة تثبيت الرقاقات والألواح الساخنة، كما نقدم خيارات للجهد والحجم تتناسب مع أدوات المصنعين الأصليين.
لماذا يتم استخدام هذه الوحدات في الإنتاج تعتمد عملية معالجة المادة المستخدمة في الطباعة على استقرار درجة الحرارة. تساعد أجهزة التسخين الخاصة بنا في الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، وتقليل الانحرافات، والحفاظ على استقرار درجة الحرارة على سطح الرقاقة. يمكن قياس الفوائد: توزيع أفضل للأبعاد الحرجة، وعدد أقل من الرقاقات التي تحتاج إلى إعادة معالجة، بالإضافة إلى إنتاجية أفضل.
يقل استهلاك الطاقة لأن النظام يسخن فقط عند الحاجة ويبرد بسرعة. كما أن الوحدة موثوقة ويمكن استخدامها على مدار 24 ساعة دون توقفات غير مخطط لها.
ما يجب الانتباه إليه أثناء التركيب يتعلق الأمر بالتواصل الحراري: مستوى استواء السطح، وضغط الاتصال، ومعدل الإشعاع الحراري. حتى فجوة هوائية صغيرة قد تؤدي إلى عدم استقرار درجة الحرارة.
يجب إجراء اختبارات أولية لتحديد مستوى درجة الحرارة وفقًا لخطوات العملية، ثم تثبيت الإعدادات. ستعمل الوحدة كما هو محدد – لكن فقط إذا تم التعامل مع الواجهة الميكانيكية كجزء من النظام الحراري، وليس كشيء منفصل.