حفظ ایمنی هنگام گرم کردن ویفرهای شیمیایی
بیایید صادق باشیم: استفاده از لامپهای مادون قرمز بر روی محلولهای شیمیایی، در واقع مانند بازی کردن با آتش است. گازهای فرار در اطراف وجود دارند؛ کافی است یک جرقه کوچک یا سطحی که بیش از حد گرم شود، باعث ایجاد اختلال شود. در این صورت، مشکلات جدی پیش خواهد آمد.
به همین دلیل، ما فقط لامپ را در آنجا قرار نمیدهیم و امیدوار به بهترین نتیجه میشویم. ما لامپهای مادون قرمز خود را با ساختارهای ویژهای طراحی میکنیم تا در چنین محیطهای پرخطری از ایمنی حفاظت شود.
درباره فاصله ایمنی
وقتی مردم درباره «فاصله ایمنی» صحبت میکنند، معمولاً فقط به این فکر میکنند که اجسام با یکدیگر تماس نداشته باشند. اما موضوع مربوط به نحوه انتقال گرماست.
اگر لامپ بیش از حد نزدیک به ویفر یا سطح شیمیایی قرار بگیرد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد؛ این خوب نیست. ما لامپهای خود را با نقطه کانونی بسیار دقیقی طراحی میکنیم؛ این کار به این معناست که عنصر گرمایشی به اندازه کافی دور از گازهای قابل اشتعال قرار میگیرد، اما همچنان دمای مورد نیاز بر روی ویفر حاصل میشود.
حفاظت از تجهیزات (و سلامت روانی شما)
ما هرگز لوله کوارتز را بدون حفاظ قرار نمیدهیم؛ این کار منجر به مشکلات زیادی خواهد شد.
برای جلوگیری از خوردگی شیمیایی و اختلالات الکتریکی، از غلافهای محافظ و مواد درزبندی ویژه استفاده میکنیم. این مواد میتوانند در برابر مواد شیمیایی مقاومت کنند.
اما مشکل اینجاست که معمولاً درزبندها مشکل ایجاد میکنند؛ اگر درزبند خراب شود، گازها وارد بدنه الکتریکی لامپ میشوند و لامپ سریعاً خراب میشود. برای جلوگیری از این مشکل، از درزبندهای مقاوم در برابر دمای بالا استفاده میکنیم.
معایب
البته، این روش معایبی نیز دارد. استفاده از غلاف محافظ باعث کاهش کمی انتقال موجهای مادون قرمز میشود؛ بخشی از گرما توسط غلاف جذب میشود، قبل از اینکه به ویفر برسد.
وقتی انتخاب توان لامپ را انجام میدهید، باید این موضوع را در نظر بگیرید. اگر به دنبال زمان گرم شدن سریع ویفر هستید، ممکن است نیاز به افزایش توان لامپ باشد؛ اما حتماً مطمئن شوید که منبع تغذیه لامپ میتواند این بار اضافی را تحمل کند.