클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
바이오센서를 제조할 때는 “비교적 깨끗한 환경”만으로는 부족합니다. 아주 작은 양의 산화물 조각이나 불필요한 접착제 조각만으로도 웨이퍼가 망가지거나 생물학적 시약이 손상될 수 있습니다. 정말 답답한 상황입니다.
문제는 대부분의 가열 요소들이 더러워 있다는 것입니다. 이러한 가열 요소들은 가스를 방출하고 미세한 입자들을 배출합니다. 만약 일반적인 히터를 클래스 100급 환경에 사용한다면, 그것은 곧 오염을 초래하는 것과 같습니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다.
작동 원리
대부분의 램프는 접착제나 금속 캡을 사용하지만, 이러한 재료들은 열循环을 거치면서 서서히 분해됩니다. 우리는 그러한 재료들을 사용하지 않습니다.
융합 석영을 사용함으로써 휘발성 유기화합물과 먼지를 제거할 수 있습니다. 게다가 단파 적외선을 사용하기 때문에, 에너지가 공기를 가열하는 대신 직접 기판에 전달됩니다. 이는 바닥의 먼지가 센서 위로 날아오는 것을 막아줍니다.
설계 상의 세부 사항
우리는 열이 가해져도 결정화되지 않는 특수한 석영 소재를 사용합니다. 또한 필라멘트가 정확히 중앙에 위치하도록 해서, 작업 영역 전체에 균일한 열이 전달되도록 합니다.
또한, 램프의 끝부분에는 전통적인 접착제를 사용하지 않습니다. 너무 위험하기 때문입니다. 대신, 청정실용 실링재를 사용하여 램프가 가열될 때 가스가 새어 나가는 것을 막습니다.
현장에서의 주의사항
고순도 석영은 깨지기 쉽습니다. 유리보다는 급격한 온도 변화에 잘 견디지만, 절대로 맨손으로 만져서는 안 됩니다. 피부의 기름 때문에 과열된 부분이 생기고, 그로 인해 램프가 조기에 고장날 수 있습니다. 따라서 먼지가 없는 장갑과 이소프로필 알코올을 사용하여 청소해야 합니다.
또한, 램프의 성능을 높이기 위해 과도한 전력을 사용할 경우, 환기 시스템을 반드시 확인해야 합니다. 만약 램프 주변의 온도가 너무 높아진다면, 주변의 플라스틱 부품들이 변형될 수 있으며, 그렇게 되면 청정실의 밀폐성이 사라집니다.