에너지 효율적인 웨이퍼 히터

반도체 공장에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선 가열이 효과적인가 반도체 공장에서 진정으로 탄소 중립 목표를 달성하려면 에너지 낭비를 줄여야 합니다. 그중에서도 가장 큰 문제는 웨이퍼를 가열하는 방식입니다. 기존의 저항식 가열기들은 사실상 전체 장비를 가열하는 용도로...