더 이상 웨이퍼가 가열될 때까지 기다리지 마세요. 반도체 정밀 가공에 종사해본 사람이라면, 강제 대류식 가열 방식의 단점을 잘 알고 있을 것입니다. 속도가 너무 느립니다. 그냥 그 자리에 앉아서 공기가 뜨거워지기를 기다리고, 그 열이 웨이퍼에 전달되기를 기다려야 합니...

진공 챔버의 과열을 막으세요 만약 진공 챔버 내에서 웨이퍼나 기판을 가열해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 가장 큰 문제는 바로 “열 축적”입니다. 일반적인 적외선 램프는 에너지를 사방으로 방출하는 구조입니다. 반도체 제조 환경에서는 이것이 문제가 됩니...