연료전지 촉매 건조 램프
포토레지스트의 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서는 온도 변동을 감수할 수 없습니다. 한 곳만이라도 과열되면 촉매층이 변형됩니다. 반대로 한 곳이라도 오염된다면, 현상 과정에서 문제가 생깁니다. 그래서 연료전지용 촉매 건조 램프는 바닥에 설치되도록 만들어졌습니다....
태양광 전지 웨이퍼 건조 램프
공정 현장에서의 손실 최소화 공정 현장에서는 작은 실수로 큰 손실을 초래할 수 있습니다. 청소 후의 희미한 물자국, 평탄하지 않은 베이크 프로파일 - 하나의 문제로 전체 태양전지 웨이퍼 배치가 엉망이 될 수 있습니다. 전통적인 건조 램프는 드리프트 현상이 발생하기 쉬...